导读： MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文缩写，用硅做的比较多。它是经过光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微机电加工等工艺加工制作的高科技电子机械器件。 01、国内外MEMS流量检测芯片介绍 MEMS热式流量检测原理 MEMS 流量检测芯片由两个温度传感器

测量气体的相关浓度，最主要的仪器是气体检测变送器，而它的核心部分就是 气体传感器 。根据不同的测量原理，可以把传感器分为：PID光离子化传感器、红外式传感器、迦伐尼电池式氧气传感器、定电位电解式气体传感器以及催化燃烧式传感器等等。 PID光离子化传

半导体气体传感器结构特征 气体传感器主要有半导体式、接触燃烧方式、化学反应式、光干涉式、热传导式、红外线吸收散式等。而这当中以半导体 气体传感器 应用更为广泛。 半导体气体传感器由气敏部分、加热丝以及防爆网等构成，它是在气敏部分的SnO2、Fe2O2、

施工作业时，环境中常遇到的危险是可燃气引起的爆炸、有限空间作业缺氧、以及CO、H2S中毒等情况最多

金属氧化物半导体式传感器 金属氧化物半导体式传感器利用被测气体的吸附作用,改变半导体的电导率,通过电流变化的比较,激发报警电路。由于半导体式传感器测量时受环境影响较大,输出线形不稳定。金属氧化物半导体式传感器,因其反应十分灵敏,故目前广泛使用的领