显微镜下的MEMS结构（注意图上刻度是微米） MEMS应用范围很广，封装应根据实际终端应用要求（如保护性、气密性、散热性等）进行设计。 消费电子/移动应用驱动MEMS市场快速成长，复合年增长率可达13%。 ◆ 未来5年通信和医疗应用增长最快，复合年增长率高达20

MEMS技术是一个虽有历史但充满年轻活力的技术，诞生于半个世纪以前，兴起于二十年前。小小的MEMS有着大大的玄机，与大家耳熟能详的半导体技术息息相关，但其制造、设计、材料等工艺又独树一帜，迥异于传统的半导体工艺。 一、什么是MEMS MEMS的概念于20世纪5

摘要：为了实现电流传感器在配电网中的覆盖使用，电流传感器朝着小型化、低成本、性能可靠和易安装维护方向发展，基于三维感应线圈的新型 MEMS电流传感器 便被研究出来了，它可立体检测配电网电流。 近年来，随着半导体和微电子技术的发展，基于MEMS的电流传

引言 机器人、无人机、无人车、无人船等代表性无人系统的智能自主控制是当前自动控制领域的研究热点，更是提升无人系统自主性和智能化水平的核心技术。自主导航技术利用对应的自主导航系统获取无人系统自身的位置、速度及姿态信息，是实现无人系统智能自主控

文章导读 VOCs、PM2.5、PM10和臭氧这些污染物的名词经常被分开阐述其危害性，但它们也是有逻辑关系的，VOCs是形成O3的重要前体物。本文讲解了臭氧与VOCs的基础知识。